Метод основан на использовании индуктивно-связанной плазмы для ионизации вещества и масс-спектрометра для разделения и детектирования образовавшихся ионов. ИСП-МС метод позволяет проводить как элементный, так и изотопный анализ проб. Конструкция одноколлекторного магнитно-секторного масс-спектрометра Element XR, позволяет одновременно проводить измерения концентраций нескольких десятков изотопов. Для прибора характерны широкий линейный диапазон измеряемых концентраций и низкие пределы обнаружения, благодаря высокой чувствительности метода. Использование режима высокого разрешения увеличивает аналитические возможности оборудования, за счет снижения мешающего влияния интерференций на получаемый результат измерения. Благодаря этому, возможно определение концентраций таких элементов как Li, P, Se, As,Ti, V, Co, Ni, Cu, Zn, Cd, без коррекции на интерференцию, с сохранением чувствительности не менее одного пг/г для большинства элементов от лития до урана.